本文主要讨论基础化工材料-高纯试剂。

高纯试剂(Ultra -clean and High -purityReagents) 超大规模集成电路(即“芯片”) 生产过程中的关键基础化工材料之一。
高纯度试剂主要用于芯片的清洗和蚀刻, 此外,芯片掺杂和沉淀也采用高纯试剂。
根据高纯试剂的用途,可分为光刻胶配套试剂、湿法蚀刻剂和湿法工艺试剂;
若按其性质可分为: 无机酸(如盐酸、硝酸、硫酸、氢氟酸、磷酸等)。)、无机碱(如氨等)、有机溶剂(如无水乙醇、冰乙酸、三氯乙烯、丙酮等) 还有其它高纯试剂(如过氧化氢、氟化氢铵等)。).
目前国内对高纯试剂的需求达到25万t//a,超纯高纯试剂7.1万t/a,绝大多数高端产品依赖进口。

