化学词典介绍了四氟化碳的应用和毒性。CAS号为75-73-0，中文别名为：四氟甲烷，英文名称为：carbon tetrafluoride，英文别名：Tetrafluoromethane。四氟化碳的分子式为：CF4，分子量为：88。四氟化碳用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体和制冷剂。
四氟化碳的应用
四氟化碳是微电子工业中最大的等离子蚀刻气体。其高纯度和四氟化碳高纯度混合物可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和钨膜材料的蚀刻。对于硅和二氧化硅系统，当CF4-H2反应离子蚀刻时，通过调整两种气体的比例，可以获得45：1的选择性在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅膜时非常有用。
四氟化碳也广泛应用于电子设备表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检测剂、宇宙火箭姿态控制、印刷电路生产中的去污剂等。
四氟化碳也可用于金属冶炼和塑料工业，因为它具有很强的化学稳定性。
四氟化碳具有良好的溶氧性，因此被科学家用于超深度潜水实验而不是普通压缩空气。目前，它已经成功地在老鼠身上，在275米到366米的深度内，老鼠仍然可以安全地脱离危险。
四氟化碳的毒性
吸入四氟化碳的后果与浓度有关，包括头痛、恶心、头晕和心血管系统损伤（主要是心脏）。长期接触会导致严重的心脏损伤。
四氟化碳密度高，可填充地面空间，在不通风的地方窒息。(编辑:YD）
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