化学气相法制备纳米材料

化学词典为您介绍化学气相法制备纳米材料。化学气相法利用挥发性金属化合物蒸汽的化学反应合成所需粉末，是典型的气相法。适用于制备氧化物和非氧化物粉末。

其主要特点是：产品纯度高，粒度可控，粒度分布均匀窄，无团聚。但设备投资大，能耗高，制粉成本高。

纳米材料的化学气相法制备

化学气相法可分为：

(1)化学气相沉积法（CVD） 原料在气相中发生化学反应，形成化合物微料。普通 CVD 该方法获得的粉末一般较厚，颗粒再次团聚和烧结。

等离子体增强的化学气相沉积法是利用等离子体产生的超高温刺激气体反应，利用等离子体高温区及其周围环境形成的巨大温度梯度，通过急冷获得纳米颗粒。

如日本新原白一应用此法制备Si3N4/SiC 纳米复合粉。该方法制备的粉末粒度可控，粒度分布均匀，无团聚，但成本高，不适合大规模工业生产。

(2)气相分解法一般以金属有机物为原料，通过气相状态下的热分解制成纳米粉。例如，Zr(OC4H9)。作为原料，通过气相分解合成Zro2 纳米粉。但金属有机物原料成本较高。

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