化学气相反应法和化学气相凝聚法

2025年04月15日 阅读量:204

化学词典为您介绍化学气相反应法和化学气相凝聚法制备纳米材料。纳米材料可采用化学气相反应法和化学气相凝聚法制备。以下是详细介绍。

化学气相反应法

化学气相反应法又称化学气相沉积法(Chemical Vapor Deposi tion , 简称CVD), 利用金属化合物的蒸汽, 所需的化合物通过化学反应生成, 在保护气体环境下快速冷凝, 制备各种物质的纳米颗粒。纳米颗粒具有反应活性高、工艺可控、工艺连续等优点, 可广泛应用于特殊复合材料、原子能反应堆材料、刀具、微电子材料等领域。

自20 世纪80 年代起, CVD 该技术开始用于制备粉末、块状材料和纤维。

为了发生化学反应, 反应物系分子也必须激活, 一般采用加热和辐照。因此,热管炉加热化学气相反应法和激光诱导化学气相反应法出现了。(LICVD)加强等离子体化学气相反应法。

化学气相凝聚法

1994 年Chang W 提出了一种新型的纳米颗粒合成技术-化学气相凝聚技术, 简称CVC法。它利用气体原料在气相中通过化学反应形成基本颗粒,冷凝成纳米颗粒。以高纯惰性气体为载气, 将金属有机前驱体(如六甲基二硅烷等)带入钼丝炉, 炉温为1 100 ~ 1400 ℃, 气氛压力保持在100 ~ 1 000 Pa 低压状态。

原料在这种环境下热解成团, 然后凝结成纳米粒子, 最后,附着在内部充满液氮的旋转衬底上, 刮刀后进入纳米粉收集器。碳化硅、氮化硅、二氧化锆、二氧化钛等纳米颗粒已成功合成。

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