化学词典为您介绍溅射法制备纳米材料。阳极和阴极分别由两块金属板制成， 阴极是蒸发材料， 氩气在两极内充满(40) ～ 250 Pa），两极施加的电压为0.3 ～ 1.5 kV 。
氩离子是由两个电极之间的光放电引起的， 氩离子在电场作用下冲击阴极靶材表面， 使靶原子从其表面蒸发形成超微粒子， 并沉积在附着面上。
粒子的大小和尺寸分布主要取决于两个电极之间的电压、电流和气压。目标材料的表面积越大， 原子的蒸发速率越大， 获得的超微粒子越多。
用溅射法制备纳米颗粒具有以下优点：
(1)适用面广， 纳米金属可制备低熔点和高熔点；
(2)可制备多组化合物纳米颗粒， 如二氧化锆等；
(3)通过增加溅射的阴极表面， 纳米颗粒的获得量可以增加。
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