近日，大连理工大学教授张振宇、博士生王波、崔俊峰在硅变形诱导新纳米结构制造方面取得了重大进展，并在纳米通信上发表了相关研究。
目前的变形诱导方法主要是金刚石砧板、压缩、划痕、弯曲、纳米压痕和纳米划痕。然而，目前的变形诱导制造纳米结构的方法与实际加工速度相差3~10个量级。
针对这一问题，大连理工大学设计制造了2.5微米的刃口半径，140.7的投影角°单颗磨粒金刚石刀具开发了单颗磨粒纳米深度超精密磨削设备，实现了40.2的磨削速度 单粒磨粒纳米深度超精密磨削试验新方法为米/秒，切削深度为33 纳米时，加工出含有非晶、新四方相、滑移带、双晶超晶格和单晶的新纳米结构。
在晶体管中，新纳米结构的不同显微结构具有不同的力学、电学和光学性能IC、二极管、太阳能电池、能量存储系统、MEMS和NEMS具有潜在的应用价值，为新型高性能设备和设备的设计和制造提供了新的思路。
